半導(dǎo)體外延爐的真空值基本要求其使用性能的關(guān)鍵指標(biāo)之一，詳細(xì)如下：
一、真空值范疇
基本規(guī)定
半導(dǎo)體外延爐的波導(dǎo)管需達(dá)到幾千分之一毫巴（10?3 mbar）至幾十億分之一毫巴（10?? mbar）的真空值范疇，以獲取高均勻度、低污染的液相自然環(huán)境。
高真空區(qū)域（10?3~10?? Torr，約1.3×10?3~1.3×10?? mbar）：用以基本外延生長，保證分子結(jié)構(gòu)碰撞頻率減少，降低殘?jiān)绊憽?br/>超高真空地區(qū)（<10?? Torr，約<1.3×10?? mbar）：適用于對原材料純凈度要求極高的情景（如彈性散射厚度超層析生長發(fā)育）。
單位轉(zhuǎn)換與范疇配對
不一樣資料中真空度單位很有可能選用Torr或毫巴（1 mbar≈0.75 Torr），應(yīng)根據(jù)加工工藝要求統(tǒng)一計(jì)算后選擇適合的范疇。
二、技術(shù)進(jìn)行
傳統(tǒng)式真空設(shè)備：選用真空泵和分子泵組成，適用超高真空要求（10??~10?? mbar）。
新式技術(shù)性：超高真空技術(shù)性（如離子泵、低溫泵）：適用10?? mbar以內(nèi)的極限真空，用以高精密外延性加工工藝。
光泵技術(shù)性：根據(jù)激光器制冷提升真空泵可靠性，降低汽體殘余。
三、設(shè)計(jì)和制造主要因素
材料種類
真空腔體需采用三氧化二鋁、氧化鋯陶瓷或石英石等低放空氣率原材料，保證長期性真空泵可靠性。
密封性設(shè)計(jì)方案
包含密封性插口、閥門和法蘭的提升，防止微漏汽造成真空值起伏。
進(jìn)風(fēng)口與廢氣操縱
調(diào)節(jié)反應(yīng)氣體壓力（如SiH?、H?），保持生存環(huán)境的液相均勻度。
四、系統(tǒng)軟件性能參數(shù)
極限真空
系統(tǒng)能實(shí)現(xiàn)的少工作壓力（如<10?? mbar），直接關(guān)系外延片缺點(diǎn)密度外表粗糙度。
抽氣速率
確定實(shí)現(xiàn)目標(biāo)真空值所需要的時(shí)間，需結(jié)合室容積制造工藝周期時(shí)間全方位設(shè)計(jì)。