1.溫度異常
半導(dǎo)體外延爐溫度出現(xiàn)異常：需檢查吸力設(shè)置、煤氣流量、空煤比、熱值以及儀表系統(tǒng)，并對相關(guān)參數(shù)進(jìn)行調(diào)整。
單一燃燒室異常：調(diào)整加減閥門的開度、廢氣盤的小翻板開度以及更換閥門。
火道出現(xiàn)異常：檢查是否需要更換孔板，并清理下噴管，確認(rèn)邊火道蓄熱室的封墻是否存在漏氣現(xiàn)象。
2.機(jī)械故障
傳送機(jī)構(gòu)出現(xiàn)異常：請檢查機(jī)械壓塊是否松動或損壞，如有需要，請更換相關(guān)部件。
加熱元件老化：更換電加熱元件或隔熱屏的損壞部分。
3.控制系統(tǒng)出現(xiàn)故障
溫度失控：請檢查熱電偶的安裝是否正確，調(diào)整熱控儀表的分度號匹配，必要時(shí)更換補(bǔ)償導(dǎo)線。
控制器故障：檢查內(nèi)部開關(guān)、熔斷器和固態(tài)繼電器，更換損壞的部件。
4.其他常見問題解答
密封性不佳：更換老化的密封組件，優(yōu)化結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)以提高密封效果。
電壓不穩(wěn)定：可以考慮安裝穩(wěn)壓器，或檢查電源線，盡量避免與其他大功率設(shè)備共用同一個(gè)插座。
以上方法需根據(jù)半導(dǎo)體外延爐的具體型號和維護(hù)手冊進(jìn)行調(diào)整。對于涉及高精度設(shè)備的情況，建議聯(lián)系專業(yè)技術(shù)人員進(jìn)行處理。