半導(dǎo)體外延爐用鉬器件的潛在危害主要包含以下幾個(gè)方面：
1.傳熱效率降低
硅碳棒高溫下表面會(huì)產(chǎn)生二氧化硅防護(hù)膜，但經(jīng)常加溫和冷卻也會(huì)導(dǎo)致防護(hù)膜掉下來(lái)，從而影響傳熱效率并縮短使用壽命。除此之外，超低溫空氣氧化（小于700℃）會(huì)損害防護(hù)層，加重元器件消耗。
2.安全風(fēng)險(xiǎn)
元器件冷端與爐口距離過(guò)近可能會(huì)引起局部過(guò)熱，造成爐口損傷或元器件破裂。接線夾具未夾持時(shí)有可能出現(xiàn)點(diǎn)火狀況，提升破裂風(fēng)險(xiǎn)性。H2氣氛中二氧化硅防護(hù)膜能被氧化反應(yīng)毀壞，需要在氣體氛圍中生成防護(hù)層。
3.維護(hù)保養(yǎng)要求嚴(yán)格
需定期維護(hù)工裝夾具情況、防止超低溫空氣氧化、操縱H2氛圍應(yīng)用，且需配備預(yù)留元器件以應(yīng)對(duì)突發(fā)毀壞。堅(jiān)持使用可以減少防護(hù)膜掉下來(lái)難題，但維護(hù)保養(yǎng)不合理仍也會(huì)導(dǎo)致壽命縮短。
4.職業(yè)類型感染風(fēng)險(xiǎn)
鉬化學(xué)物質(zhì)（如三氧化鉬）對(duì)皮膚、呼吸系統(tǒng)有刺激效果，經(jīng)常接觸可能會(huì)引起嚴(yán)重貧血、肝功能危害乃至人體骨骼病損。職工需配戴防護(hù)裝備并定期檢測(cè)血鉬濃度值。