2025-03-26半導(dǎo)體外延爐的隔熱材料是啥
半導(dǎo)體外延爐的保溫隔熱材料主要包含三氧化二鋁、Si3N4、氮化硅等相關(guān)材料。各種材料在半導(dǎo)體設(shè)備中扮演著至關(guān)重要的角色,可以有效地保持機(jī)器設(shè)備的工作溫度,保證設(shè)備的性能和穩(wěn)定性。保溫材料的類型以及特點(diǎn)三氧化二鋁:三氧化二鋁是一種具有高熔點(diǎn)、高韌性和良好保溫效果的結(jié)構(gòu)陶瓷。它可以有效地阻隔發(fā)熱量,維護(hù)
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